Эпiтаксiя
ААТ «ІНТЭГРАЛ» - кіруючая кампанія холдынгу «ІНТЭГРАЛ» мае абсталяванне, якое дазваляе вырабляць эпiтаксiяльныя структуры для розных ужыванняў.
Мы можам вырабіць эпітаксіяльная структуры як на ўласных пласцінах, так і на пласцінах заказчыка.
Па замове спажыўца магчыма нарошчванне эпітаксіяльных слаёў крэмнія на пласцінах са скрытымi слаямі (іённа-легаваныя і дыфузійныя структуры).
| Параметр, адзінка вымярэння | Значэнне |
|---|---|
| Дыяметр падложкі, мм | 100, 150 |
| Арыентацыя | (111), (100) |
| Легіруючая прымесь падложкі | Сурма, Бор |
| Таўшчыня эпітаксіяльнага слоя, мкм | 3,0 – 15 |
| Легіруючая прымесь эпітаксіяльнага слоя | Фосфар |
| Ўдзельнае супраціўленне эпітаксіяльнага слоя, Ом•см | n-тып 0,5 – 5,0 |
| Тыпы аднаслаёвых структур | n-n+, n-p+ |
| Эпітаксія на пласцінах са скрытымі слаямі | да 2-х скрытых слаёў |
ААТ "ІНТЭГРАЛ" таксама прапануе выраб ІМС і паўправадніковых прыбораў на аснове канструкцыі Заказчыка (пастаўка па выніках функцыянальнага кантролю), паслугі паўправадніковай вытворчасці - выкананне асобных тэхналагічных аперацый або блокаў аперацый (напыленне металаў, асаджэнне плёнак, вырошчванне эпітаксіяльных пластоў, утаненне зваротнага боку пласціны і т. п.), выраб зыходных крамянёвых падкладак па спецыфікацыі Замоўца, зборка і вымярэнне прыбораў у пластмасавых і металакерамічных карпусах.