Эпiтаксiя

ААТ «ІНТЭГРАЛ» - кіруючая кампанія холдынгу «ІНТЭГРАЛ» мае абсталяванне, якое дазваляе вырабляць эпiтаксiяльныя структуры для розных ужыванняў.

Мы можам вырабіць эпітаксіяльная структуры як на ўласных пласцінах, так і на пласцінах заказчыка.

Па замове спажыўца магчыма нарошчванне эпітаксіяльных слаёў крэмнія на пласцінах са скрытымi слаямі (іённа-легаваныя і дыфузійныя структуры).

Параметр, адзінка вымярэння Значэнне
Дыяметр падложкі, мм 100, 150
Арыентацыя (111), (100)
Легіруючая прымесь падложкі Сурма, Бор
Таўшчыня эпітаксіяльнага слоя, мкм 3,0 – 15
Легіруючая прымесь эпітаксіяльнага слоя Фосфар
Ўдзельнае супраціўленне эпітаксіяльнага слоя, Ом•см n-тып 0,5 – 5,0
Тыпы аднаслаёвых структур n-n+, n-p+  
Эпітаксія на пласцінах са скрытымі слаямі да 2-х скрытых слаёў

ААТ "ІНТЭГРАЛ" таксама прапануе выраб ІМС і паўправадніковых прыбораў на аснове канструкцыі Заказчыка (пастаўка па выніках функцыянальнага кантролю), паслугі паўправадніковай вытворчасці - выкананне асобных тэхналагічных аперацый або блокаў аперацый (напыленне металаў, асаджэнне плёнак, вырошчванне эпітаксіяльных пластоў, утаненне зваротнага боку пласціны і т. п.), выраб зыходных крамянёвых падкладак па спецыфікацыі Замоўца, зборка і вымярэнне прыбораў у пластмасавых і металакерамічных карпусах.